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真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
氫氣爐按結(jié)構(gòu)可分為立式及臥式兩種,其中立式又分為鐘罩升降式與底部托盤升降式。爐體均采用水冷夾壁結(jié)構(gòu),外層為碳鋼,內(nèi)層為優(yōu)質(zhì)不銹鋼。臥式系列為單開門結(jié)構(gòu)、外加熱方式。
SPS火花放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)作為一種新穎而有效的快速燒結(jié)技術(shù),已經(jīng)應(yīng)用于多種材料的研制和開發(fā)。他結(jié)合了等離子活化,熱壓為一體,具有升溫速度快,燒結(jié)時(shí)間短,冷卻迅速,外加壓力可調(diào)節(jié),氣氛可控,節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)
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